FLUKE1720/1722コントローラは生産中止から数年を
経過しております。 装置メーカーであるノベラスシステムズ社では今日まで修理サービスを行って参りましたが、残念ながら5.25インチハードディスクドライブ及びタッチスクリーンの入手が困難となって参りました。また、メーカーであるFLUKE社はこのコントローラをサポートしていくことを中止しております。よって、このコントローラを今後修理する事は出来なくなりました。

お客様に3000シリーズスパッタリング装置を長くお使い頂く為に、我々セミテックインターナショナルは今までお使いのFLUKE1720/1722コントローラから新開発のコントローラ　"MST3000　CONTROLLER"　に変更することをお勧めいたします。このコントローラは3180，3190，3280，3290シリーズにてご使用になれます。
　
この　"MST3000　CONTROLLER"　は今までお使い頂いたFLUKE1720/1722コントローラと同様に、
お客様がお使い易い様に形状、画面等を継承しております。
すべての信号系、電源系インターフェイスはFLUKE1720/1722コントローラと同じです。
  

− 特　徴
 1.　 機　能
　 - System version :
　　　 3290 STQ 1.0 / 3290 STD 1.0 / MNI-Q 4.0 / CONMAG-I 3.0　etc
　 - Include Function of Fluke controller
　 - Display
　　　 ・Wafer Number
　　　 ・Process Status
　　　 ・RF Power : Fwd Power, Ref Power
　　　 ・Deposition Power : Voltage, Current, Power
　　　 ・Heater Temperature
　　　 ・Argon Pressure
　 - Interlock
　　　 ・Deposition Power
　　　 ・Heater Temp.
　　　 ・Argon Pressure
　 - Logging
　　　 ・Recipe Data
　　　 ・Diagnostics Data
　　　 ・Error Data

2.　 操作画面
   

3.　容易な操作環境
　- 最小限のトレーニング、今までのFLUKESD1720/1722コントローラと
　　 同様な感覚です。
　- "MST3000　CONTROLLER"　内のハードディスクはシステムブート用、
　　 レシピロード用フロッピーディスクを必要としません。
　
4.　容易なアップグレード
　最小のダウンタイムにてアップグレードできます。
− 仕　様
 - CPU :Intel Pentium-III 800MHz
- Main Memory :128Mbytes
- Display :12.1” TFT LCD Touch Monitor (800 * 600)
- O/S :Windows XP
- 3.5” Floppy Disk (1.44MBytes)
- HDD / Flash Memory
- Standard IEEE-488 Interface
- Standard RS232C / RS422 Interface
- Ethernet LAN Card
- Analog Input
- Digital I/O
- Keyboard / Mouse
- Rack mountable
- Power :AC 110/220V selectable, 150W
− 備　考 KESA ECS-3000 PC (3290STQ) から　"MST3000　CONTROLLER"へは
変更できません。
"MST3000　CONTROLLER"はThin Film Monitorの機能を
サポートしていません。
− お問合せ お問合せフォームよりお願いいたします。

■お急ぎの場合は下記にご連絡ください。
TEL：（0774）28-6691　FAX：（0774）28-6692

担当：武田